Сканирующий электронный микроскоп TESCAN CLARA

Неиммерсионный аналитический сканирующий электронный микроскоп c ультравысоким разрешением для исследовательских задач на наноуровне.

TESCAN CLARA – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), позволяющий получать высококачественные изображения и проводить микроанализ, что является весьма актуальным в различных областях исследований и технологий. В СЭМ TESCAN CLARA используется технология TESCAN BrightBeam™, при которой объективная линза сочетает в себе магнитную и электростатическую линзы, что позволяет получать изображения с ультравысоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях и при отсутствии вокруг образца магнитных полей, благодаря чему нет ограничений на свойства образца. Можно изучать все виды образцов, включая магнитные.

TESCAN CLARA оснащен уникальной мультидетекторной системой внутри электронной колонны, что позволяет регистрировать электроны с селекцией по углу их вылета и по энергиям, что дает предельно много информации о топографии образца и композиционных отличиях. Мультидетектор, оснащённый сеткой с регулируемым потенциалом смещения, позволяет проводить фильтрацию между вторичными (SE) и обратно отражёнными (BSE) электронами по энергетическому признаку, что повышает материальный контраст, а также дает возможность быстро переключаться между этими сигналами. Второй приосевой детектор Axial, также встроенный в электронную колонну, предназначен для эффективного сбора SE-сигнала при активации потенциальной трубки внутри колонны, SE-сигнал регистрируется без потерь при любых энергиях приземления электронного пучка. Это делает получение SE-изображений с ультравысоким разрешением рутинной задачей даже при низких энергиях приземления пучка электронов.

Кроме того, микроскоп TESCAN CLARA может быть оснащён двумя внутрикамерными детекторами: SE-детектором типа Эверхарта-Торнли в стандартной комплектации для топографического контраста с высоким уровнем сигнала и опциональным выдвижным детектором обратно отраженных электронов, чувствительным в том числе в области низких энергий первичного пучка. Последний собирает BSE-электроны, рассеянные на широкие углы, и обеспечивает высокий контраст даже при низких ускоряющих напряжениях. TESCAN CLARA также разработан для успешного решения аналитических задач благодаря технологиям In Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени) и Intermediate Lens™ (в качестве устройства смены апертур при регулировке тока пучка используется электромагнитная IML-линза). TESCAN CLARA может поддерживать высокое разрешение даже при больших токах пучка (до 400 нА), что полезно для ежедневных аналитических исследований. Микроскоп TESCAN CLARA – это по-настоящему универсальный инструмент, идеально подходящий для исследований наноматериалов, прецизионного контроля качества в высокотехнологичной промышленности, а также для исследований и разработок.

Модели микроскопов TESCAN CLARA называются CLARA LMH, CLARA LMU, CLARA GMH, CLARA GMU в зависимости от размера камеры и наличия режима низкого вакуума (подробнее во вкладке «Характеристики»).

Ключевые преимущества

• Уникальная система детектирования In-Beam BSE позволяет фильтровать вторичные сигналы как по энергиям, так и по углу разлёта
• Неиммерсионная электронная оптика для исследований материалов при низких энергиях пучка электронов и с ярким топографическим контрастом
• Отлично подходит для исследований чувствительных к пучку электронов и плохо проводящих электрический ток образцов
• Быстрая юстировка электронной колонны – получение изображений высокого качества и одновременное проведение аналитических исследований гарантированы технологией In-Flight Beam Tracing™
• Удобная и точная СЭМ-навигация по образцу в реальном времени при небольшом увеличении без необходимости использовать дополнительную оптическую навигационную камеру
• Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для лёгкой работы независимо от уровня опыта пользователя